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          多弧陰極

          2020-09-14 10:26:25
          多弧陰極
          詳細介紹:

              多弧陰極

          磁場對多弧靶電弧燃燒穩定性的影響多弧離子鍍設備靶源的真空電弧放電是以場致發射為主, 熱電子發射為輔。場致發射所需的強電場是靠靶面前的空間電荷產生的, 這種真空電弧放電具有相當高的離化率, 一般離化率為60%90%,在真空室內特別是靶面附近基本上是完全的等離子體。由于磁場對帶電粒子的運動具有很大的影響,從而真空電弧受磁場的控制。

          無外加磁場情況下, 陰極弧斑為堆團狀,且在靶面上無規則運動,這時電弧燃燒極不穩定, 時常滅弧,靶面刻蝕極為粗糙。

          在靶面附近加一非軸對稱磁場且磁力線平行于靶面的情況下電弧放電的弧斑形貌,這種情況下弧斑亦為堆團狀,其運動是沿一個方向(與磁場方向有關),最后停留于靶面外沿一點至到滅弧。

          當靶面處加一相對千靶面軸對稱的磁場時,堆團狀弧斑消失,弧班在靶面上繞靶軸心作旋轉運動,形成幾條微細的弧環。這種情況下的放電穩定性較好。在陰極靶面上,弧斑位置受磁場控制,靶面處電弧燃燒比較穩定的地方也就是磁場最強的地方。


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