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          雙面鍍膜機

          雙面鍍膜機

          • 所屬分類:單體鍍膜機
          • 瀏覽次數:
          • 發布日期:2020-09-14 10:11:43
          • 產品概述
          • 性能特點
          • 技術參數

          立式雙面磁控濺射鍍膜機

          產品名稱:立式雙面磁控濺射鍍膜機

          產品型號:CRT-AC1200DoubleSideMagnetronSputteringCoater

          設備用途:在玻璃、陶瓷和金屬基材上實現雙面沉積陶瓷、光學膜和金屬膜。

          武漢科瑞達真空科技有限有限公司設計的CRT-AC1200雙面磁控濺射鍍膜機為實現各種雙面復合多功能膜層鍍膜而設計,本機為立式單腔體,真空腔為箱式設計,在兩個側面上設計有通用的陰極安裝法蘭和維修門,可以按照實際工藝的需要安裝各種模塊,實現多種類型的沉積工藝和沉積膜層。本機可以靈活的采用多弧鍍和濺射進行鍍膜,廣泛應用于在特種玻璃、陶瓷、塑料和纖維布上用多種鍍膜方式進行復合膜層的鍍膜沉積。


          設備設計:

          在箱式真空腔體的兩個面上安裝有標準安裝法蘭??砂惭b多弧陰極或者線性磁控濺射陰極,設有兩個維修門,也可作為前處理安裝法蘭。采用鉸鏈門結構,方便進出料。在真空腔體頂板上設有DN250mm的高真空抽氣口,同時采用插板閥高真空隔離;在腔體的頂板上設有真空進氣裝置、真空檢測裝置和工藝氣體進入裝置;真空系統為分子泵和機械泵組成的兩級真空抽氣系統。


          技術特點:

          1、操作:全/半自動,操作方便;

          2、抽真空節拍;小于20min一架;

          3、沉積源:四套線性沉積源;

          4、濺射源:直流電源和中頻電源;

          5、鍍膜:雙面金屬、介質膜和光學膜;

          6、膜厚控制:較精 確制動的沉積圈數;

          7、真空:分子泵、羅茨泵和機械泵;

          8、離子源:線性離子源;

          9、加熱:采用鎧裝加熱管加熱

          10、工件架:進片推車手動對位;

          11、工藝控制:工控電腦+PLC。

          12、說明:在玻璃、陶瓷和金屬平板材料上實現雙面沉積陶瓷和金屬膜層。


          技術參數:

          1、安裝:W1800*L1800*H3200mm;

          2、腔體:內空W1400*H1400*L480mm

          3、裝載:Φ1200*D5mm,嵌入式裝載盤;

          5、濺射:直流濺射/中頻濺射/多弧陰極;

          6、真空范圍:ATM-6*10-4Pa;

          7、離子源:線性離子源,4KW;

          8、沉積率:較精 確控制的圈數;

          9、進出片:手動對位托盤和小車;

          10、真空:截止閥控制流量計工藝氣體;

          11、電源:三相四線制50HZ

          12、外接法蘭:KF16和KF25

          13、真空獲得:機械泵、羅茨泵和分子泵


          設備結構介紹:由真空室、真空機組、工裝系統、工藝控制系統和電氣控制系統組成。

          1、真空室

          箱式不銹鋼腔體(外壁水冷系統),鉸鏈開門;SUS304不銹鋼材質,配LF250標準安裝法蘭(含防污擋板)、視窗、預抽接口、分子泵接口、高低真空計接口和充氣接口;腔體側壁內部全部設計有反射板等。

          2、真空機組

          采用分子泵FF250/2000+機械泵2X-70提供高真空抽氣,和工藝維護抽氣系統;由機械泵2X-70提供腔體前級抽氣系統,獲得快速工件換裝抽氣。分子泵和高閥設計安裝在腔體頂部或底部,配有相應的插板閥和氣動角閥,配有復合式數顯真空測量儀。

          3、電氣系統

          電氣系統包括真空機組控制、工裝系統、真空測量控制等部分組成。有安全互鎖機構,有效防止誤操作發生。

          4、工藝控制系統

          工藝控制系統配置有四套線性濺射陰極、兩套線性離子源、四套10KW電源、八套工藝流量計(帶截止閥)、濺射擋板裝置和工裝加熱旋轉自動控制系統;配置有多組冷卻水盤管,有效帶走沉積過程中產生的熱量。

          5、工裝系統

          Φ1200*D5mm(工裝夾具可定做),采用航空鋁鏤空沉臺設計,邊緣裝夾夾具位小于2mm,配合雙面鍍膜工裝;可以實現雙面同時鍍膜工藝。

          6、多功能鍍膜系統

          本機設計在玻璃、陶瓷和金屬平板材料上實現雙面沉積陶瓷和金屬膜層。

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