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          臥式連續鍍膜線

          臥式連續鍍膜線

          • 所屬分類:連續鍍膜生產線
          • 瀏覽次數:
          • 發布日期:2020-04-29 11:26:49
          • 產品概述
          • 性能特點
          • 技術參數

          產品名稱:CRT-H750釹鐵硼陶瓷柱表面金屬化鍍膜機

          產品型號:CRT-H750SurfaceMetalizationCoaterSpecification

          設備用途:釹鐵硼陶瓷柱表面金屬化鍍膜機,采用磁控濺射工藝在釹鐵硼陶瓷柱表面沉積鋱(Tb)金屬膜或者鏑(Dy)金屬膜,并通過擴散處理改善磁性陶瓷的性能。


          科瑞達真空的CRT-H750鍍膜機實現了小型陶瓷柱金屬化鍍膜的大批量批次生產,每天產能可達到4萬個;適合釹鐵硼磁性陶瓷柱表面金屬化功能膜的鍍膜,例如濺射鋱、鏑和鋁等表面改性薄膜;鍍膜機采用全自動化設計,連續批次生產,生產效率高,潔凈度高,可靠性好。


          臥式批次式磁控濺射鍍膜機,分為四個部分:進出片腔體、前過渡腔體、鍍膜工藝腔體和后過渡腔體;鍍膜工藝腔體為標準真空鍍膜腔體(每個腔體上設計有三個陰極安裝門板上,每個門板可以安裝兩個平面陰極);鍍膜機配置有5臺FF250/1600分子泵,并配有相應的前級抽氣系統;工件架采用齒輪齒條公自轉運行架;在進出片腔體前方設計有一個進片等待架,方便快速裝載被鍍膜工件,兩套裝載架,一用一裝,可以快速配合生產。


          技術特點:

          1、大批量工業化生產;

          2、生產線減少生產對環境和人體的損害;

          3、較好控制滲鏑和滲鋱的量,節約了稀有材料的使用,提高了利用率;

          4、增強了滲鏑和滲鋱的深度,提高性能;

          5、標準化、模塊化設計,工藝模塊可以根據實際的生產需求進行局部的改善和調整;對工藝和產品的升級簡單成本低。


          技術參數:

          1、安裝:W7000*L7600*H1500mm;

          2、腔體:W1650*L4800*H500mm

          3、裝載架:W1050*L1050mm;

          4、靶材:孿生W110*L1050mm靶;或者孿生Φ110*L1050mm靶

          5、被鍍件:Φ5-Φ20的陶瓷柱;

          6、真空范圍:ATM*6*10-4Pa;

          7、濺射:直流磁控濺射;

          8、沉積率:小于0.5um/次,3-6分鐘/次;

          9、設計:真空腔和工藝模塊化設計;

          10、工藝:流量計和閥控工藝氣體;

          11、電源:380V50HZ

          12、外接法蘭:KF16和KF25

          13、真空獲得:機械泵、羅茨泵和分子泵


          一、設備結構介紹:

          該設備由真空室、真空泵組、裝載架、陰極、真空計量和工藝氣體控制系統組成。

          (1)進出片腔體:尺寸W1570*L1450mm*H500mm的真空腔體,腔體板厚20mm外冷卻,配有觀察窗;真空抽氣部分配置:1臺2X-30機械泵,1臺ZJP300羅茲泵;2臺FF250/2000分子泵,1臺2X-70機械泵;與大氣之間采用獨立翻板閥鎖緊,動作簡單有效;真空度達到8Pa少于60秒;

          (2)前后過渡腔體:尺寸W1570*L1650mm*H500mm的真空腔體,腔體板厚20mm外冷卻;真空抽氣部分鍍膜腔體和過渡腔共用前級:1臺FF250/2000分子泵,1臺2X-70機械泵(與鍍膜室共用),電離規和電阻規安裝在腔體頂上和管道上;氣體隔離裝置:與大氣之間采用獨立插板閥,動作簡單有效;維持真空在10-1Pa-10-3Pa之間進行鍍膜;基片架小車真空內平移,并實現快慢速轉換;

          (3)鍍膜腔體:尺寸W1570*L1750mm*H500mm的真空腔體;真空抽氣部分配置:4臺FF250/2000分子泵;

          二、濺射鍍膜工藝系統

          該設備濺射鍍膜工藝系統由一個鍍膜腔體組成,每個腔體上設計有三個工藝模塊,每個工藝模塊可安裝兩個平面陰極或者兩個旋轉陰極,最多可安裝6個平面陰極或旋轉陰極;

          孿生平面陰極,W100*L1050mm;孿生旋轉陰極,Φ110*L1050mm;電源功率15-20kw的直流電源。

          標簽

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