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          薄膜沉積技術/Coating Technology

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          • 所屬分類:應用案例
          • 瀏覽次數:
          • 發布日期:2020-04-25 00:00:00
          • 案例描述
          • 性能特點
          • 技術參數

          CRT-M1600多功能濺射蒸發鍍膜機

          產品規格:

          1.真空室:Φ1600*H1100mm,Φ1200*H1000mm

          2.較大可鍍工件:W210*L950mm,W175*L850mm

          3.極限真空度:優于2*10-4Pa

          4.抽氣時間:大氣壓~8*10-4Pa小于30min

          5.蒸發源:電阻式蒸發電極,一組

          6.濺射源:孿生旋轉陰極或孿生平面陰極,四組

          7.離子源:線性離子源輔助沉積系統,一套

          8.開啟方式:正面鉸鏈開門結構

          9.真空系統:機械泵+分子泵,機械泵+羅茨泵

          10.樣品加熱:鎧裝加熱管預留


          技術特點:

          1.本設備主要用于沉積多層光學膜,如可見光分光膜、可見光濾光片、可見光抗反射膜、紫外截至濾光片、紅外濾光片、激光抗反膜、激光反射膜和激光抗損膜等。

          2.本設備適合企業、科研單位和高校使用。

          3.該設備由真空室、真空機組、鍍膜系統、工裝系統和電氣控制系統組成。

          4.采用分子泵+機械泵作為高真空和工藝抽氣;采用羅茨泵+機械泵作為前級抽氣。


          CRT-M1600 Multi-function Coating System

          Specification:

          1. Chamber: Φ1600*H1100mm,Φ1200*H1000mm

          2. Maxmium sample dimension: 210*850mm,175*850mm

          3. Ultimate pressure: Less than 2*10-4Pa

          4. Pump Time: ATM.~8*10-4Pa less than 30min

          5. Evaporator: Resistance Heating Evaporation

          6. Sputtering: Twin Rotating  Twin Plane Cathode

          7. Ion Source: linear Ion Source

          8. Door: Front door structure

          9. Pump: Mechanical pump + Turbo Molecular Pump 

          10. Heater: Stainless Steel Heating Tube


          Technical Features:

          1. It is used to deposite mulfi-layer optical films, such as beam splitter, optical filter, antireflective film  reflective film. 

          2. It is suitable for small enterprises, scientific research units  universities. 

          3. The device consists of a vacuum chamber, vacuum unit, coating system, frock clamp  electrical system.

          4. The Vacuum Chamber is Pumped by molecules rotary vane pump, roots pump  mechanical pump.

          標簽

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